≪スパッタリングにおける薄膜成形を中心とした≫ 『プラスチックフィルムの表面改質と機能性薄膜の密着性向上・デバイスへの応用』

★スパッタリングで低温でしっかりした品質の成膜をいかに作成するか?
★成膜速度向上や膜厚の面内均一性を保持するノウハウとは?
★プラスチック基材へ成膜し、密着性を向上させるための表面改質とは?
★基礎とトラブルを中心にいま流行のタッチパネル関連部材へのスパッタリングの応用も解説!

【講　師】東海大学　工学部　機械工学科　教授　岩森　暁　氏

【会　場】東京中央区立産業会館 4F　第4集会室【東京・日本橋】
　　　都営新宿線 馬喰横山駅 地下通路経由　　B4出口 5分　(道案内2)
　　　JR総武快速線 馬喰町駅 東口改札経由　　C1出口 5分　(道案内3) ほか

【日　時】 平成23年10月26日(水)　13:30-16:30

【定　員】 30名　※満席になりましたら、締め切らせていただきます。早めにお申し込みください。

【聴講料】 【早期割引価格】1社2名まで46,200円(税込、テキスト費用を含む)
※但し10月11日までにお申込いただいたTech-Zone会員に限る。会員登録は無料

※10月11日を過ぎると【定価】1社2名まで49,350円(税込、テキスト費用を含む) となります

◆同一法人より3名でお申込みの場合、69,300円

詳細確認またはお申込をご検討されている方は下記ＵＲＬをご覧ください ▼
http://ec.techzone.jp/products/detail.php?product_id=2359

【講演主旨】
プラスチックフィルム上にスパッタリングなどの物理気相蒸着(PVD)法により形成した薄膜は、ベースとなるプラスチックフィルムの特性を大きく向上させます。プラスチックフィルム上に金属薄膜、無機薄膜、有機薄膜を形成し、種々の機能・特性を向上させる技術について基礎から応用までわかりやすく紹介します。とくに金属薄膜では薄膜の接着性や展延性に優れた金属蒸着フィルム、無機薄膜では透明電極やガスバリアー膜の形成、有機薄膜では反射防止膜などへの応用など、これら薄膜の機能発現メカニズム、さらにはプラスチックフィルムの表面改質や、低温成膜技術を中心に成膜速度や膜厚の面内均一性などの応用まで含めた技術の紹介を致します。

【キーワード】
1.スパッタリング成膜技術の基礎から応用まで
2.機能性薄膜
3.プラスチックフィルム

【プログラム】

　1.薄膜形成技術の基礎
　1-1　薄膜形成法の種類とその特徴
　1-2　化学気相蒸着(CVD)と物理気相蒸着(PVD)
　1-3　PVDの種類とその特徴
　1-4　スパッタリングの種類とその特徴

2.プラスチックフィルム上に形成した金属薄膜
　2-1　スパッタリングによりポリイミドフィルム上に形成した金属薄膜
　　2-1-1　スパッタリングによりポリイミドフィルム上に形成した銅薄膜の接着性
　　2-1-2　加熱による銅薄膜の接着力の安定性と接着強度低下防止
　2-2　真空蒸着法によりポリエステル(PET)フィルム基板上に形成した金属薄膜
　　2-2-1　金属薄膜の引張特性と接着性
　　2-2-2　ポリエステルフィルム上に2源真空蒸着により形成した合金薄膜の成形性

3.プラスチックフィルム上に形成した無機薄膜
　3-1　スパッタリングにより形成した透明導電性薄膜(ITO薄膜)
　3-2　反応性スパッタリングにより形成したシリコン酸化物系薄膜のガスバリアー性

4.プラスチックフィルム上に形成した有機薄膜
　4-1　高周波スパッタリングにより形成したフッ素系有機薄膜の特性
　4-2　磁場を利用した高速成膜と膜厚の面内均一性
　4-3　反射防止膜への応用

5.　プラスチックフィルムの表面改質と微細加工技術
　5-1　プラスチックフィルムの表面改質法の種類とその特徴
　5-2　プラズマを利用した表面改質と微細加工への応用

6.　スパッタリングにより形成した薄膜のセンサーへの応用
　6-1　高周波スパッタリングにより形成した有機薄膜の揮発性有機溶剤(VOC)センサー
　6-2　高周波スパッタリングにより形成した有機薄膜の活性酸素センサーへの応用

　【質疑応答　名刺交換】