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会 場 (株)日本テクノセンター研修室 【東京・新宿区】
日 時 2010 年6月22日(火)10:30〜17:30
定 員 30名 ※満席になりましたら、締め切らせていただきます。早めにお申し込みください。
聴講料 1名につき:47,250円
※同一法人より2名以上でのお申し込みの場合、1名につき42,000円
■講師の言葉
MEMS三次元加工技術は、現在、圧力センサを初めとして多くの分野に応用されています。特に、MEMS技術を利用した加速度センサやジャイロセンサは、近年、車やゲーム機器市場で需要が急速に拡大したことから、大きな注目が集まっています。
本講義では、このMEMS加速度センサとジャイロセンサ技術の基礎から実務までを深く理解することを目的にしており、1)機械設計技術、2)加工製作技術、3)電気検出回路技術、を豊富な実例を通して具体的に講義します。
本講義は、これらそれぞれの技術を基礎から平易に解説するため、初心者にとって理解しやすいと思います。また、すでに実務についている方にとっては、広大な知識を整理するのに役立つだろうと思います。
１. MEMSセンサ技術の流れ
1.マイクロマシニング技術
2.半導体圧力センサ
3.加速度センサとジャイロセンサ
２. MEMS加速度センサ・ジャイロセンサの開発の流れ
1.開発初期:ピエゾ抵抗型、Torsion Bar
2.自動車用途実用化:静電容量型、自己診断、上下対称構造、Force balancing
3.高感度化と高機能化 :狭ギャップ作製技術、ΔΣ変換回路
３. MEMS加工技術:原理と実際
1.慣性センサ:用語、市場
2.作製方法
４.MEMS加速度センサの原理と実例
1.加速度センサの動作原理
2.検出回路
3.加速度センサの実例:アナログデバイス社加速度センサ
５.MEMSジャイロセンサの原理と実例
1.ジャイロセンサの動作原理
2.種々の検出方式
a.ピエゾ抵抗型
b.静電容量型
c.圧電型
3.検出回路
4.ジャイロセンサの実例
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