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『走査電子顕微鏡(SEM)による効果的な分析とそのノウハウ』
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http://ec.techzone.jp/products/detail.php?product_id=636
★超高倍率での観察、分析が可能であり、ナノテク分野に必須である走査電子顕微鏡(SEM)。
★その基本操作から電子と試料の相互作用、適切な分析方法までを理解し、より正確な観察・分析結果を得よう!
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▲その他の6月セミナー
会 場 (株)日本テクノセンター研修室 【東京・新宿区】
日 時 2010 年6月17日(木)10:30〜17:30
定 員 30名 ※満席になりましたら、締め切らせていただきます。早めにお申し込みください。
聴講料 1名につき:47,250円
※同一法人より2名以上でのお申し込みの場合、1名につき42,000円
■講師の言葉
走査電子顕微鏡は、光学顕微鏡で観察できる1,000倍程度の倍率を超えて、数10万倍での観察ができること、試料の形状を忠実に理解できるリアルな画像が得られること、試料を高い倍率で観察しながら、試料上の任意の位置に存在する元素を短時間で検出できること、などのユニークな特長があります。
元素分析領域は、1〜2ミクロン程度ですが、高性能FESEMによりサブミクロン領域の分析が可能になっています。
この特長を活かして、ナノテクノロジー分野での研究開発から物作り現場での品質管理・故障解析のために広く使われています。観察のための試料準備は、多くの場合簡単で、初めて使う人でも光学顕微鏡を使う程度の技術で結果が得られることも、普及している理由です。
しかし、最近の高性能走査電子顕微鏡が持っている性能を活かすためには、電子と試料との相互作用を理解し、観察・分析目的にあわせて走査電子顕微鏡を最適化し、最適な試料を準備する必要があります。
本セミナーは、高性能走査電子顕微鏡を使いこなすための基本知識と、微細構造の観察法に加えて、微小領域の元素分析および結晶方位解析での、より良い解析法を習得できます。
１. ミクロを超えてナノの世界へ
1.肉眼から電子顕微鏡へ
2.種々の電子顕微鏡の原理・特徴
a.透過電子顕微鏡
b.走査電子顕微鏡
c.電子プローブマイクロアナライザ (EPMA)
d.走査プローブ顕微鏡
e.蛍光X線分析装置
２. 走査電子顕微鏡の原理
1.走査電子顕微鏡で得られる情報
a.電子と物質との相互作用
b.二次電子像(表面形状)
c.三次元観察と測長
d.反射電子像(物質分布)
e.特性X線(元素分析 定性 定量 分布)
f.結晶方位
g.走査透過電子像(STEM)
2.走査電子顕微鏡の構造とその働き
a.電子銃 (熱電子銃、電界放出形電子銃)
b.レンズ (コンデンサーレンズ、汎用対物レンズ、高分解能対レンズ)
c.検出器 (二次電子検出器、反射電子検出器、エネルギーフィルタ)
３. 良い結果を得るための操作法
1.電子の電圧(加速電圧)の選択
2.試料照射電流の選択
3.非点収差の補正とフォーカス調整
４. 元素分析
1.X線の発生
a.電子と試料との相互作用
b.X線発生領域を小さくするには
2.X線の検出
a. エネルギー分散形X線分析装置 (EDS)
b.波長分散形X線分析装置 (WDS)
3.精度の高い分析のためのヒント
a.定性分析
b.定量分析
c.元素の分布(元素マップ)
d.元素分析のための試料作製
５. 結晶方位解析(EBSD)
1.チャネリングコントラスト(結晶方位によるコントラスト)
2.EBSDの原理
3.結晶方位解析例
4.結晶方位解析のための試料作製
６.試料の準備
1.観察できるもの
2.試料作製の基礎
3.粒子の分散
4.断面作製 (アルゴンイオンによる断面作製)
5.導電性コーティング
７.質問、講演内容、および、各種試料の解析法などについて
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